DF1600 Vertical Heat Treatment Furnace OHKURA VIET NAM

Mô tả:

Nhà phân phối thiết bị Ohkura tại Việt Nam

Chia sẻ:

Số lượng

DF1600 Vertical Heat Treatment Furnace

Thiết bị này là lò xử lý nhiệt thẳng đứng (lò khuếch tán) được sử dụng cho các quy trình xử lý nhiệt trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn hiện đang trải qua một sự thay đổi từ sản xuất hàng loạt để sản xuất các loại sản phẩm khác nhau với số lượng nhỏ. Thiết bị này cho phép xử lý tốc độ cao, dung lượng nhỏ, trong khi có kích thước có thể lắp đặt trong các phòng sạch hiện có.

Tính năng, đặc điểm:

■ Có thể tăng và giảm nhiệt độ ở tốc độ cao (tương thích với FTP)

Một lò sưởi độc đáo sử dụng hệ thống gia nhiệt dọc cho phép tăng nhiệt độ cao và tốc độ cao ở nhiệt độ cao, cho phép cả hai chế biến với nhiệt độ cao tăng và giảm, và xử lý tiêu chuẩn, được thực hiện với một đơn vị duy nhất.

■ Hệ thống truyền wafer độc đáo của công ty chúng tôi

Thiết bị này có phần ổ đĩa có độ tin cậy cao sử dụng hệ thống chuyển wafer độc đáo của công ty chúng tôi.

■ Được trang bị cơ chế chuyển đổi độ cao

Sân rãnh trên mặt thuyền có thể được chuyển đổi sang bất kỳ độ cao mong muốn nào để chuyển wafer (khoảng thiết lập: 4,76 - 9,52 mm). Vận chuyển Wafer được thực hiện từ cassette-to-cassette.

■ Thiết bị nhấn mạnh năng suất và khả năng sử dụng

Các thành phần điều khiển sử dụng một bảng điều khiển TFT với một màn hình cảm ứng, cho các thiết bị với năng suất cao và khả năng sử dụng.

■ Có thể nhập lò wafer ở nhiệt độ thấp

Có thể giảm thiểu đáng kể nhiệt độ của lò hơi wafer ở nhiệt độ thấp.

■ Tháo gỡ và lắp đặt các ống phản ứng an toàn và dễ dàng

Sử dụng thang máy tự động, các ống phản ứng có thể được tháo ra và lắp đặt an toàn hơn và dễ dàng hơn.

■ Hệ thống kiểm soát nhiệt độ độc đáo

Hệ thống kiểm soát nhiệt độ và nóng sử dụng các phương pháp độc đáo để cải thiện đáng kể các đặc tính phục hồi nhiệt độ.

■ Khả năng bảo trì

Xem xét tuyệt vời đã được trao cho thiết kế sao cho ngay cả khi nhiều thiết bị được cài đặt, khả năng bảo trì và khả năng sử dụng của chúng sẽ không bị mất.